摘要:瞻芯电子(IVCT)基于经典的寿命模型,对大样本量的第二代(G2)650V SiC MOSFET 进行了鲁棒性验证试验(Robustness-Validation)。该试验严格遵循 AEC-Q101、ZVEI标准,开展了HTRB、HTGB+、HV-H3TRB 及 IOL 等关键项目测试,并引入了经典的 Arrhenius、Hallberg-Peck、Coffin-Manson及Eyring等可靠性物理模型进行数据分析。
本试验共对2156颗样本进行长达3500小时的极限应力测试,经数据统计分析结果表明:在典型应用条件下,器件预测寿命可达数百年,远超瞻芯电子对车规级产品加严设定的18年寿命标准,凸显了产品卓越的可靠性。
1. 引言与验证目标
碳化硅(SiC)功率器件在提升系统能源转换效率与功率密度方面优势显著,但其可靠性始终是高端应用的核心关切点。为定量评估并证实产品的长期可靠性,瞻芯电子启动了本次超越常规的鲁棒性试验。本项目旨在达成以下目标:
• 验证器件在最低18年工作寿命周期内的可靠性(严于AEC-Q101的15年标准)。
• 遵循 Test-to-failure宗旨,旨在探究产品的失效边界与内在失效机理。
• 建立关键参数的安全工作区(SOA),为设计提供有效的数据支持。
2. 试验方法与策划
2.1 可靠性模型与测试项目选择以及试验结果
试验基于AEC-Q101标准,选取HTRB、HTGB+、HV-H3TRB及IOL四项加速寿命测试项目,并采用Arrhenius、Eyring、Hallberg-Peck及Coffin-Manson等物理模型进行数据分析。所有样本(总计2156颗)均从在线量产的G2 650V SiC MOSFET产品中随机抽取,确保样本的代表性。测试结果汇总如下:
|
模型 |
测试项目 |
测试条件 |
测试数量 |
首次失效时间 |
批量 T63 失效时间 |
|
Arrhenius & Eyring |
HTRB |
175℃; VS=VG=0V; VD=650V |
6 Lots×77ea/Lot |
2895 小时 |
3287 小时 |
|
Arrhenius & Eyring |
HTGB+ |
175℃; VS=VD=0V; VG=18V |
6 Lots×77ea/Lot |
2766 小时 |
3332 小时 |
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Coffin-Manson |
IOL |
∆T≥100℃, 5min on/off |
6 Lots×77ea/Lot |
3500 小时未失效 |
|
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Hallberg-Peck & Eyring |
HV-H3TRB |
85℃, 85%RH, VD=520V |
10 Lots×77ea/Lot |
3479 小时 |
3500 小时 无新增失效 |
3. 试验结果与深入分析
3.1 整体可靠性寿命分布:浴盆曲线
浴盆曲线是描述产品生命周期内故障率变化规律的曲线,分为早期故障期(磨合期)、随机故障期(稳定期)、磨损故障期(衰老期)三个阶段。 在分析各组测试项目3500小时的失效数据后发现,样品经不同测试后的故障表现差异显著,表明各组样品分别处于不同生命周期阶段,在浴盆曲线上标注示意如下:
图 1 浴盆曲线-各项测试后样品处在不同寿命阶段
本次试验结果分析如下:
• HV-H3TRB:样品随机故障期超过3500小时,凸显了卓越的产品抗湿性。
• HTRB/HTGB+:样品在3000小时进入随机故障临界期,并于3000-3500小时步入磨损故障期。
• IOL:产品在3500小时远远未进入磨损故障期,证明了产品封装互连的极高可靠性。
综上所述,结合图示分析可知,IOL测试的可靠性表现最佳,HV-H3TRB表现次之,HTRB和HTGB+在浴盆曲线上进入耗损期较早,但在实际应用条件下仍表现优异,预测寿命远超设计标准。
3.2 HV-H3TRB 测试结果与分析
• 测试条件:T=85°C, RH=85%, VDS=520V。
• 漏电流稳定性:在 3500 小时应力施加前后,器件漏电流(IDSS)增长不超过 1μA,且未触发任何失效判定依据,未发现系统性退化机制。
图 2 施加应力之前和之后的漏电流
图 3 施加应力之前和之后的漏电流倍数
上图2显示的是施加应力之前和之后,漏电流的增长不超过1uA。上图3显示的是施加应力之前和之后的漏电流倍数。漏电流的增长不超过每个节点设定的失效判定标准,甚至3500小时测试后漏电流增加未超过5倍。没有发现系统的EOL机制。
• 安全工作区(SOA)分析:下图等高线图定义了不同温湿度条件下的寿命边界。如图所示,基于Hallberg-Peck与Eyring模型推算,在典型条件(65°C, 75% RH,650V)下,推算寿命高达 869 年,远离红色区域所代表的 18 年安全界限。
图 4 HV-H3TRB SOA 分析
• 计算过程:
Hallberg-Peck模型和Eyring模型:
&
由试验获知,首次失效时间t=3479hrs,Tt=85°C,RHt=85%,Vstress=520V,ss=10 lots*77ea,则可以预测在Ea= 0.9ev、90%置信区间下,湿度加速率常数p=3、 电压加速率常数β=1 时的MTTF和FIT。
在Tu= 85°C、RHu=85%、Vnormal=650V的测试试验条件下:
AF= AFt*AFv =0.8
λ=(X2*(%CL,2f+2)*109)/(2*AF*t*ss)=1074 FITS
MTTF=1/λ=1e9/1074=930721 hours=106 years
在Tu=65°C, RHu=75%, Vnormal=650V的典型应用条件下:
AF= AFt*AFv =6.54
λ=(X2*(%CL,2f+2)*109)/(2*AF*t*ss)=131 FITS
MTTF=1/λ=1e9/131=7613547 hours=869 years
3.3 HTRB 测试结果与分析
• 测试条件:T=175°C, VDS=650V。
• 3500 小时延长测试结果:首次失效时间 T实际=2895 小时,HTRB 测试虽在浴盆曲线中较早进入耗损期,但在实际应用场景下,其推算寿命仍远超设计目标。批量失效时间T63实际=3287小时 (T63为特征寿命,表明63.2%的样本在该时间内失效),显著优于 2000 小时的目标。可靠性改进因子 RIF=4.59,证明设计裕量充足。
•
量化评估鲁棒性:采用可靠性改进因子(RIF)公式= [ln (批量失效TTF_实际) - ln (TTF_目标)] / 3σ,来计算实际值相对于目标值的提升幅度。若RIF<1达不到目标要求;若RIF=1则刚符合目标;若数值更高,表明鲁棒性更好。本测试可靠性改进因子RIF= 4.59,证明产品鲁棒性设计裕量充足。
图 5 HTRB β 和 RIF 计算
• weibull分布分析:常用于描述器件寿命分布的统计模型,通过形状参数β 可判断失效类型(早期失效、随机失效、磨损失效)。形状参数(斜率)β=1,表明初期失效属于随机失效。在剔除这些随机失效样本后,计算得到的形状参数β=26.85,远大于1,这表明剩余产品已进入稳定的本征耗损期。
图 6 浴盆曲线,failure类型和weibull斜率参数 β
• SOA 分析:基于Arrhenius与Eyring模型推算在典型应用条件(139°C, 470V)下,推算寿命达 447 年。
图 7 HTRB SOA 分析
• 计算过程:
Arrhenius模型和Eyring模型:
&
由试验获知,首次失效时间Tt=2895hrs,Vstress= 650V,ss=6 lots*77ea,则可以预测在 Ea=0.7eV、kB= 8.62E-05 eV/K、90%置信区间下、电压加速率常数β=1 时的MTTF和FIT。
• 在Tu=175℃,Vnormal=650V测试试验条件下:
AF=AFt*AFv=1
λ=(X2*(%CL,2f+2)*109)/(2*AF*t*ss)=1722 FITS
MTBF=1/λ=1e9/1722=580865 hours=66 years
• 在Tu= 139°C,Vnormal=470V典型应用条件下:
AF=AFt*AFv=6.74
λ=(X2*(%CL,2f+2)*109)/(2*AF*t*ss)=255 FITS
MTBF=1/λ=1e9/255=3917122 hours=447 years
3.4 HTGB + 与 IOL 测试结果
HTGB+:测试条件:T=175°C, VGS=18V。首次失效时间 Tfailure=2766 小时,批量失效时间T63failure=3332小时,明显优于 2000 小时的目标。可靠性改进因子 RIF=2.68,证明设计裕量充足。
• 在典型条件(142°C, 18V)下,寿命为 268 年。延长测试同样显示其失效模式由随机失效过渡至本征耗损。

图 8 HTGB+ SOA 分析
计算过程:
Arrhenius模型和Eyring模型:
&
由试验获知,首次失效时间Tt=2766hrs, Vstress= 18V,ss=6 lots*77ea,则可以预测在 Ea=0.7eV、kB= 8.62E-05 eV/K、90%置信区间下、电压加速率常数β=1 时的MTTF和FIT。
在Tu=175℃,Vnormal=18V测试试验条件下:
AF=AFt*AFv=1
λ=(X2*(%CL,2f+2)*109)/(2*AF*t*ss)=1802 FITS
MTBF=1/λ=1e9/1802=554981 hours=63 years
在Tu=142℃,Vnormal=18V典型应用条件下:
AF=AFt*AFv=4.23
λ=(X2*(%CL,2f+2)*109)/(2*AF*t*ss)=426 FITS
MTBF=1/λ=1e9/426=2346691 hours=268 years
• IOL:测试条件:△Tj=100°C,5min on/off。此次试验3500h未出现一例失效,远远超于 2000 小时的目标。在典型条件(△Tt=56°C)下,寿命为342年,展现了优异的抗热疲劳性能。
图 9 IOL SOA 分析
• 计算过程:
Coffin Manson模型:
由试验得知,3500hrs测试未失效, △Tt>100℃,ss=3 lots*77ea,则可以预测在IOL加速率常数m=2.5, 90%置信区间下的MTTF和FIT。
在△Tj>100℃测试试验条件下:
AF=1
λ=(X2*(%CL,2f+2)*109)/(2*AF*t*ss)=1424 FITS
MTBF=1/λ=1e9/1424=702254 hours=80 years
在△Tu>56℃典型应用条件下:
AF=4.26
λ=(X2*(%CL,2f+2)*109)/(2*AF*t*ss)=334 FITS
MTBF=1/λ=1e9/1424=2992432 hours=342 years
4. 综合结论
本次鲁棒性验证基于大规模样本与长周期测试,提供了令人信服的数据结论:
1. 寿命远超目标:在所有关键可靠性测试中,瞻芯电子G2 650V SiC MOSFET 在典型应用条件下的推算寿命均数倍于 18 年的安全目标,普遍达到数百年量级。
2. 卓越的湿度可靠性:即使在最严苛的 HV-H3TRB(双85)条件下,器件也未出现明显的性能退化,证明了产品的成熟与稳定。
3. 高置信度统计:基于2156颗芯片样本的大规模测试,未发现系统性或共性的寿命终止机制(EOL)。产品失效模式符合预期,具备极强的可靠性边际。
综上所述,瞻芯电子 G2 650V SiC MOSFET 通过了极为严苛的可靠性验证,其卓越的鲁棒性验证数据为电动汽车、工业控制等要求零失效的高端应用提供了坚实的技术保障。
参考资料:
[1] JESD85_Methods for Calculating Failure Rates in Units of FITs
[2] AEC_Q101_Rev_E_Base_Document-2021 Discrete
[3] ZVEI_Handbook for Robustness Validation of Automotive Electrical / Electronic Modules, June 2013
[4] ZVEI_How to measure lifetime for Robustness Validation-step by step , November 2012 / Revision 1.9
[5] ZVEI_Handbook for Robustness Validation of Semiconductor Devices in Automotive Applications, May 2015[6] IEC_61649_Weibull analysis, 2008-08
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